22.5.2025 / 5분 읽기

클래스 10K 클린룸 유압 리프트: 밀폐형 스테인리스 스틸 디자인 및 오일 누출 제로 기술

프로젝트 개요

클라이언트: 뉴머티리얼테크(주) (광전자 반도체 소재)

애플리케이션: 클래스 10,000 표준을 준수하는 클린룸 원자재 취급용 스테인리스 스틸 유압 리프트.

디자인 포커스: 밀폐형 실린더/레일 통합으로 산업 내구성과 클린룸 미학이 균형을 이룹니다.

기본 매개변수

매개변수사양
플랫폼 크기1500×1500mm
발자국2200×1600mm
여행 높이4300mm
속도4-6m/분
재료316L 스테인리스 스틸
설치바닥 내장형
클린룸 클래스ISO 클래스 7

도전 과제

  • 클린룸 규정 준수: 표면의 먼지 트랩이 없습니다(Ra≤0.8μm 마감).
  • 유압 씰링: 오일 오염을 방지하는 완벽한 밀폐.
  • 저진동 작동: 깨지기 쉬운 반도체 소재를 위해 분당 4~6m로 안정적으로 움직입니다.
  • 공간 효율성: 2200×1600mm 설치 공간 내에서 4300mm 스트로크 달성.

솔루션

  • 캡슐화된 유압 장치: 316L 스테인리스 스틸 덮개형 실린더/레일(IP65 등급).
  • 거울 연마: 레이저 평활 용접(Ra≤0.4μm).
  • 정밀 안내: 쿼드 컬럼 동기화 + 롤러 가이드(진동 <0.5mm/s²).
  • 컴팩트 U-프레임: 40% 공간 절약형 접이식 구조.

장점

✅ 클린룸 인증: 누수 제로로 SEMI F47을 준수합니다.
✅ 조용한 작동민감한 환경을 위한 ≤58dB(A) 소음.
✅ 스마트 안전: 적외선 장애물 감지 + 비상 브레이크(0.3초 응답).
✅ 견고한 수명: 1.5톤 동적 하중, 100,000회 정밀 유지.

갤러리

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